Analysator für Spurengase 19.05.2022, 11:46 Uhr

Stickstoffspuren bis 0,1 ppb detektieren

In der Halbleiter- und Elektronikindustrie sind Hochreine Gase sind für zahlreiche Anwendungen unerlässlich. Michell stellt einen Analysator für Spurengase auf der Hannover Messe vor.

Stickstoff-Analysator LD8000 Plus. Foto: Process Sensing Technologies

Stickstoff-Analysator LD8000 Plus.

Foto: Process Sensing Technologies

 

Um auch geringste Spuren von Stickstoff in Argon und Helium detektieren zu können, hat LDetek seinen Analysator LD8000 Plus weiter verbessert – die Nachweisgrenze liegt jetzt bei 0,1 ppb. Das Gerät basiert auf dem patentierten Plasma-Emissionsdetektor (PED) von LDetek und ist speziell auf die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie ausgelegt.

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Effektive Analytik von Messgasen

Der optimierte LD8000 Plus bietet nicht nur eine schnelle Ansprechzeit von 60 Sekunden, sondern auch eine höhere Stabilität. Diese wird erreicht, indem Interferenzen und Temperaturdrift durch die kontinuierliche Differenzmessung zwischen Messgas und stickstofffreiem Referenzgas auf ein Minimum reduziert werden. Das macht diesen Analysator zum effektivsten Gerät, das derzeit auf dem Markt ist, um Spurenstickstoff im sub-ppb-Bereich zu messen. Hinzu kommen optimierte Vakuumbedingungen sowie eine Beschichtung der Gasleitung, um Verschmutzungen und eine Absorption der Oberfläche zu verhindern. Weitere Vorteile sind eine Bypass-Probenflusskontrolle zur Sicherstellung hoher Reinheit, geringer Messgasverbrauch und ein integrierter Bootloader für ein Software-Update über Ethernet.

Sensorik mit Tradition

Die Fa. Michell Instruments ist weltweit führend im Bereich Instrumentierungslösungen für Taupunkt, relative Feuchte und Sauerstoffkonzentration. Mit mehr als 40 Jahren Erfahrung in Entwicklung und Herstellung von Sensoren, Messgeräten, Analysatoren und kundenspezifischen Lösungen für die Messung und Kalibrierung dieser wichtigen Größen, ist Michell Instruments in vielen Anwendungen und Industriezweigen täglich präsent – z.B. Automotive, Druckluft, Energieerzeugung, Petrochemie, Öl und Gas, Nahrungsmittel, Pharma, um nur einige zu nennen. Unsere innovativen Produkte machen Prozesse kostengünstiger, sauberer, energieeffizienter und sicherer. Die Firmengruppe betreibt mehrere Fertigungsstandorte in Europa mit Hauptstandort in Ely, UK. Michell Instruments Sales und Service Center verteilen sich auf 11 Standorte weltweit, mit weiteren lokal vernetzten Standorten und Distributoren, die über ausgebildetes Vertriebs- und Servicepersonal zur direkten Unterstützung vor Ort in 56 Ländern präsent sind. (hi)

https://www.processsensing.com/en-us/news/ultra-stable-sub-ppb-N2-measurements-in-Argon-for-semiconductor-industry.htm

Hannover Messe, Halle 11 Stand B72

Ein Beitrag von:

  • ingenieur.de

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