3,5 x 3,5 x 0,6 mm3 misst die kleinste piezoelektrische Mikropumpe des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT aus München. Zum Vergleich: Eine MicroSD-card mit Abmessungen von 15 x 11 x 1 mm3 ist 22-mal größer. Gleichzeitig steckt in dem Pumpenzwerg jede Menge Power: Die Mikropumpe erreicht Förderraten von 500 µl Gas/min – und dies auch bei einem beachtlichen Gegendruck von…