Der Begriff „High Purity“ wird immer häufiger im Zusammenhang mit der Bauteilreinigung verwendet. Die Spezifikationen sind von Branche zu Branche verschieden, weil es keine allgemeingültige Definition gibt. Am Beispiel von Vakuumkomponenten wird deutlich, wie streng die Restschmutzvorgaben sind: In der höchsten Sauberkeitsklasse sind pro Quadratmeter Bauteiloberfläche maximal zwei Millionen Partikel…