Halbleiter 09.11.2007, 19:31 Uhr

Vor allem „Beihilfen“ locken die Halbleiterbranche  

Um Deutschland als Produktionsstandort für High-End-Chips zu erhalten, muss sich z. B. die Förderungspolitik der EU verändern. Dass auch die Industrie das Ihre tut, zeigt das neue Innovation Center der Carl Zeiss SMT in Dresden.

Stirbt die deutsche Chipproduktion aus?“ stand als provozierende Frage über der 1. Handelsblatt Jahrestagung Halbleiterindustrie in Dresden. Rund 100 hochkarätige Manager und Experten aus den in Deutschland aktiven Unternehmen der Branche hatten sich Anfang der Woche in Europas Mikroelektronikzentrum getroffen und diese Frage natürlich vehement verneint.

Allerdings sollte, so sagte Infineon-Chef Wolfgang Ziebart in seiner Eröffnungspräsentation, der erreichte Status die Industrie nicht behäbig machen. „Als Ansiedlungsargument für Design- und Forschungsaktivitäten sind gutes Personal, wie wir es in Dresden haben, und der hier vorhandene Cluster durchaus wichtige Faktoren. Doch wenn es um Produktionsstandorte geht, dann entscheidet einzig und allein, welche staatlichen Beihilfen der jeweilige Standort bietet.“

Genau in diesem Punkt kritisierte er – und mit ihm unter anderem Wolf-Dieter Lukas, Ministerialdirektor im Bundesforschungsministerium, die Politik der EU: „Wir wollen keine EU-Gelder“, appellierte Lukas, „aber wir wollen, dass Brüssel uns unser deutsches Geld so ausgeben lässt, wie wir es für richtig halten.“ Denn in anderen Regionen der Welt seien Regierungen durchaus in der Lage, sehr attraktive Incentiva-Pakete zu schnüren.

Eine mittel- oder langfristige Perspektive nach dem Motto „Die Produktion nach China, Indien oder vielleicht einmal Brasilien, die Forschung und Entwicklung hier“ halten Lukas und mit ihm die Mehrheit der Chip-Manager für keine Option: „Die Forschung folgt der Produktion, ohne Leading- Edge-Fertigung in Deutschland und Europa wird sich auch die Forschungslandschaft nicht halten.

Lukas ist übrigens davon überzeugt, dass die deutsche Wiedervereinigung eine ganz entscheidende Voraussetzung für die heutige Position war: „Ohne die Wiedervereinigung hätten wir keine Leading-Edge-Chipproduktion mehr in Deutschland.“

Das hänge nicht nur mit den exzellenten Fachkräften in der ehemaligen DDR zusammen, dort stimmte auch das Umfeld: „In der DDR war Mikroelektronik Chefsache.“ Außerdem habe die Förderung in den neuen Bundesländern nach 1990 deutlich besser ausfallen können, als dies nach den heutigen Regeln der EU möglich wäre.

„Nochmals allerdings wird ein solcher Glücksfall nicht eintreten,“ sagt der für Schlüsseltechnologien zuständige Ministerialdirektor. Deswegen müssten Industrie und Politik an einem Strang ziehen, so Lukas: „Da, wo die globalisierte Chipindustrie und die nationalen Interessen im Einklang sind, müssen wir gemeinsam handeln.“ Und er schreibt den Halbleiterherstellern ins Stammbuch: „Wenn wir nur den Status halten wollen, den wir erreicht haben, werden wir ihn verlieren.“

Dass auch die Industrie handelt, konnte Lukas dann gleich am Dienstag demonstrativ unter Beweis stellen, als er bei der Einweihung des Carl Zeiss Innovation Center Dresden die Grußworte seiner Ministerin, Annette Schavan, überbrachte.

Gemeinsam starteten die Unternehmen Carl Zeiss SMT, AMD und Qimonda eine Kooperation im Rahmen des Verbundprojekts „Nanoanalytik“, das vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) mit 12 Mio. € gefördert wird. Die Partner arbeiten gemeinsam an neuen Analyse- und Charakterisierungsmethoden, die für die Entwicklung der nächsten Chipgenerationen erforderlich sind. Das stärke die Kompetenz des Mikroelektronikstandortes Dresden vor allem in der Halbleiteranalytik und Metrologie.

„Nur durch eine gezielte Schwerpunktsetzung in der Forschungsförderung wird es uns gelingen, Dresdens führende Rolle in dem Hightechbereich der Chipproduktion zu erhalten“, stellt Ministerialdirektor Wolf-Dieter Lukas klar.

Das neu gegründete Carl Zeiss Innovation Center Dresden ist ein wichtiger Baustein innerhalb des Verbundprojekts „Nanoanalytik“. Dort werden höchstauflösende Partikelstrahlsysteme installiert, die Elektronen- und Ionenstrahlen anstelle von Licht nutzen.

Diese Systeme ermöglichen die Abbildung, Analyse und Bearbeitung von Proben bis zur Ebene einzelner Atome. Somit tragen sie entscheidend dazu bei, dass dreidimensionale Halbleiterstrukturen charakterisiert sowie neue Materialien für die Chipherstellung entwickelt werden können.

„Mit unserem Innovation Center engagiert sich Carl Zeiss SMT in Europas führendem Mikroelektronikcluster, dem ¿Silicon Saxony¿. Dadurch wird dieses nicht nur in seiner Funktion als Forschungsstandort gestärkt, sondern auch die Weiterentwicklung der dort ansässigen Halbleiterindustrie gefördert“, sagte Dirk Stenkamp, Vorstandsmitglied von Carl Zeiss SMT.

Udo Nothelfer, Vice-President AMD Fab 36, steht nach eigenen Worten vor der Herausforderung, „immer komplexere Strukturen in immer kleineren Dimensionen in höchster Ausbeute fertigen zu müssen. Prozesskontrolle auf atomarem Niveau spielt daher eine herausragende Rolle.“

Das Carl Zeiss Innovation Center Dresden, so Nothelfer, biete Zugang zu neuesten Elektronen- und Ionenmikroskopen und so könne man die Einführung neuer Technologien weiter beschleunigen. „Die Erfahrungen aus der industriellen Nutzung können wiederum frühzeitig in die Entwicklung zukünftiger Analysegeräte einfließen.“

„Mit den inzwischen erreichten Strukturabmessungen lassen sich heutige Speicherzellen nur noch unter dem Elektronenmikroskop erkennen“, sagt Frank Prein, Geschäftsführer Qimonda Dresden GmbH und weltweiter Leiter Technologie der Qimonda AG. „Nur durch die konsequente Weiterentwicklung der Analyse- und Messverfahren lassen sich auch zukünftig die Herausforderungen in der Entwicklung und Fertigung neuester Speichertechnologien meistern.“ Im Verbundprojekt „Nanoanalytik“ will der Konzern durch vielfältige Einbindung von Forschungspartnern die Exzellenz des Forschungsstandortes für sein Technologiekompetenzzentrum in Dresden nutzen und sein wissenschaftliches Netzwerk ausbauen und stärken.

Neben den Verbundpartnern AMD und Qimonda steht das Carl Zeiss Innovation Center Dresden allen interessierten Firmen und Instituten im Raum Dresden zur Verfügung. Insbesondere können alle Partner des „Silicon Saxony“, wie die TU Dresden oder das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien CNT, Anwendungsfragen der Nanotechnologie lösen.

JENS BILLERBECK

  • Jens D. Billerbeck

    Jens D. Billerbeck

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